[12a-D10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [12a-D10-6] 高移動度β-Ga₂O₃(201)単結晶を用いたショットキーバリアダイオードの作製

〇(B)古賀 優太¹、原田 和也¹、大石 敏之¹、嘉数 誠¹ (1.佐賀大院工)

キーワード：酸化ガリウム