[12a-D10-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [12a-D10-7] ワイドバンドギャップ半導体ZnInONをi層に用いたpin太陽電池の作製

〇松島 宏一¹、清水 僚太¹、井手 智章¹、山下 大輔¹、徐 鉉雄¹、古閑 一憲¹、白谷 正治¹、板垣 奈穂^{1, 2} (1.九州大学, 2.JSTさきがけ)

キーワード：酸窒化物半導体、太陽電池、スパッタリング