2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

[12a-D5-1~8] 15.5 IV族結晶,IV-IV族混晶

2015年3月12日(木) 10:00 〜 12:00 D5 (16-205)

10:00 〜 10:15

[12a-D5-1] アモルファスGe上のサブ原子層カーボンの熱処理を用いたSi(100)基板上のGe薄膜形成

〇青山 拓磨1、伊藤 友樹2、畠山 真慈2、川島 知之1, 2、鷲尾 勝由1, 2 (1.東北大工, 2.東北大院工)

キーワード:シリコン、ゲルマニウム、カーボン