PDF ダウンロード スケジュール 4 いいね! 1 10:15 〜 10:30 △ [12a-D5-2] C/Ge/Si(100)構造におけるサブ原子層カーボンとGe成長温度のGe薄膜形成への影響 〇(M2)伊藤 友樹1、畠山 真慈1、川島 知之1、鷲尾 勝由1 (1.東北大院工) キーワード:ゲルマニウム、カーボン、シリコン