[12a-D5-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

△ [12a-D5-5] n-GeへのPデルタドーピングにおけるSi挿入によるその偏析抑制効果

〇山田 道洋¹、澤野 憲太郎²、植松 真司¹、伊藤 公平¹ (1.慶大理工, 2.都市大)

キーワード：デルタドープ、ゲルマニウム、リン