[12a-D5-1~8] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12a-D5-8] 極薄Al₂O₃/SiO₂ BOX層を有する貼り合わせGeOI基板の熱処理による電気特性改善

〇吉田 啓資¹、中村 芳明¹、竹内 正太郎¹、守山 佳彦^{1, 2}、手塚 勉²、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工, 2.産総研グリーンナノエレクトロニクスセンター)

キーワード：GeOI、Al2O3