[12a-D6-5~10] 17.1 成長技術

[12a-D6-5] 真空一貫プロセスによるCNT成長用Coナノ粒子形成法の研究

〇桑田 大輔¹、竹山 隆之介¹、中野 博貴¹、知念 優弥¹、星野 靖¹、斎藤 保直¹、中田 穣治¹ (1.神奈川大理)

キーワード：触媒ナノ微粒子、エピタキシャル成長、真空一貫プロセス