[12a-D6-5~10] 17.1 成長技術

[12a-D6-9] コバルトと鉄の積層膜を触媒とした熱フィラメントCVD法による単層カーボンナノチューブの低温成長の試み

鈴木 智貴¹、金 時蒼¹、川井田 雄介¹、花山 友基¹、丸山 一樹¹、三木 敦史¹、〇石川 豊¹ (1.日本工大工)

キーワード：単層カーボンナノチューブ、低温成長、熱フィラメントCVD法