[12a-D7-1~11] 17.2 構造制御・プロセス

[12a-D7-10] UV/O₃処理による酸化グラフェンシートのエッチング

〇清水 亮宏¹、小幡 誠司²、斉木 幸一朗^{1, 2} (1.東大院理, 2.東大院新領域)

キーワード：酸化グラフェン、UVエッチング