[12a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-D8-1] Sr₂SiO₄ターゲットで作製したSr₂SiO₄膜組成のアニール温度依存性

〇(M1)今西 啓司¹、谷脇 将太¹、馬野 光博¹、堀田 育志^{1, 3}、吉田 晴彦^{1, 3}、新船 幸二^{1, 3}、小掠 厚志^{2, 3}、佐藤 真一^{1, 3} (1.兵庫県立大, 2.明治大, 3.JST-CREST)

キーワード：ストロンチウムシリケイト