[12a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

[12a-D8-2] 2種類のHigh-k材料とSiO_xを用いた三色超構造の作製

〇三宅 省三¹、豊嶋 祐樹¹、上岡 聡史¹、堀田 育志^{1, 3}、吉田 晴彦^{1, 3}、新船 幸二^{1, 3}、小椋 厚志^{2, 3}、佐藤 真一^{1, 3} (1.兵庫県立大, 2.明治大, 3.JST-CREST)

キーワード：high-k