2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[12a-D8-1~10] 6.4 薄膜新材料

2015年3月12日(木) 09:00 〜 11:45 D8 (16-303)

11:15 〜 11:30

[12a-D8-9] バイアス印加スパッタ法によるVO2(B)及びVO2(M)の選択成長

〇蘇 魁1、NurulHanis BinitAzhan1、沖村 邦雄1 (1.東海大院工)

キーワード：二酸化バナジウム