[12a-D9-1~7] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [12a-D9-4] 高分解能SSRM測定におけるプローブ接触半径の影響評価

〇原田 一範¹、広田 潤²、中居 司²、藪原 秀彦¹ (1.東芝生産技術センター, 2.東芝S&S社)

キーワード：走査型拡がり抵抗顕微鏡