[12a-P13-1~11] 13.5 デバイス／集積化技術

[12a-P13-1] SiO₂膜中の単一トラップ生成過程の観察

〇与名本 欣樹¹ (1.日立横研)

キーワード：ホットキャリア、単一トラップ、電子スピン共鳴