[12a-P13-1~11] 13.5 デバイス／集積化技術

[12a-P13-3] ナノワイヤ型ショットキー障壁トンネルFETの動作解析

〇徐 泰宇¹、小杉山 洋希¹、橋本 修一郎¹、武井 康平¹、ソン セイ¹、麻田 修平¹、張 旭¹、若水 昂¹、松川 貴²、昌原 明植²、渡邉 孝信¹ (1.早大理工, 2.産総研)

キーワード：ナノワイヤ、ショットキー、トンネルFET