[12a-P8-1~1] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[12a-P8-1] 電子線リソグラフィの分子シミュレーション（３）

〇人見 洋¹、道下 勝司¹、安田 雅昭¹、川田 博昭¹、平井 義彦¹ (1.大阪府大工)

キーワード：電子ビームリソグラフィ、分子動力学、モンテカルロシミュレーション