[12p-A11-1~21] 7.2 電子ビーム応用

[12p-A11-17] 表面をプラズマ処理した窒化ハフニウム薄膜の仕事関数の評価

藤原 将¹、辻 博司¹、〇後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：窒化ハフニウム、仕事関数、プラズマ処理