[12p-A11-1~21] 7.2 電子ビーム応用

[12p-A11-20] エタノール浸漬処理したタングステンエミッタの電界放射顕微鏡および電界イオン顕微鏡観察

〇入場 紀明¹、辻 博司¹、後藤 康仁¹ (1.京大院工)

キーワード：FIM、FEM