[12p-A11-1~21] 7.2 電子ビーム応用

[12p-A11-6] 電子ビーム照射による絶縁体薄膜帯電のバイアス電圧依存性

〇半田 勇希¹、東海 昌司¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工大)

キーワード：走査電子顕微鏡