[12p-A16-1~13] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [12p-A16-3] 熱酸化を用いた表面不活性化による引っ張り歪みGe on Siの発光強度増大

〇(M2)高林 昂紀¹、徐 学俊¹、澤野 憲太郎¹、丸泉 琢也¹ (1.都市大総研)

キーワード：発光デバイス、表面不活性化、引っ張り歪み