2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[12p-A16-1~13] 3.15 シリコンフォトニクス

2015年3月12日(木) 14:00 〜 17:30 A16 (6A-206)

15:15 〜 15:30

▲ [12p-A16-6] Study of Thermal Annealing Effect on Smartcut Ge-on-Insulator Substrate

〇Jian Kang1, 2, Xiao Yu1, 2, Mitsuru Takenaka1, 2, Shinichi Takagi1, 2 (1.Tokyo Univ., 2.JST-CREST)

キーワード：GOI,annealing,Smartcut