2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

3 光・フォトニクス » 3.13 半導体光デバイス

[12p-A17-1~19] 3.13 半導体光デバイス

2015年3月12日(木) 14:00 〜 19:00 A17 (6A-207)

17:15 〜 17:30

[12p-A17-13] 直接貼付InP/Si基板における接合状態評価

〇(M1)岸川 純也1、松本 恵一1、金谷 佳則1、下村 和彦1 (1.上智大理工)

キーワード：有機金属気相成長法、直接貼付法、集積化技術