[12p-A21-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[12p-A21-11] 高圧水蒸気処理によるAlGaN/GaN HEMTの電流コラプス抑制

小林 洋平¹、〇Asubar Joel¹、吉嗣 晃治²、谷田部 然治³、徳田 博邦¹、堀田 昌宏²、浦岡 行治²、橋詰 保³、葛原 正明¹ (1.福井大院工, 2.奈良先端科学技術大学院大学, 3.北大量集センター)

キーワード：AlGaN/GaN HEMT、電流コラプス