[12p-A21-1~13] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[12p-A21-13] 三次元フィールドプレート構造を用いたAlGaN/GaN HEMTの電流コラプス改善

〇鈴木 敦也¹、秋良 鴻介¹、Joel Asubar¹、徳田 博邦¹、葛原 正明¹ (1.福井大院工)

キーワード：AlGaN/GaN HEMT、電流コラプス、三次元フィールドプレート