2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス/集積化技術

[12p-A23-1~11] 13.5 デバイス/集積化技術

2015年3月12日(木) 14:00 〜 17:30 A23 (6A-216)

14:00 〜 14:45

[12p-A23-1] [第15回応用物理学会業績賞(研究業績)受賞記念講演] 大容量メモリ技術の産業展開への貢献と三次元集積化技術の先駆的研究

〇小柳 光正1 (1.東北大学)

キーワード:大容量メモリ、三次元集積回路