PDF ダウンロード スケジュール 9 いいね! 0 15:45 〜 16:00 [12p-A29-8] 三次元集積化における異種材料間の熱膨張係数差がおよぼす影響 〇木野 久志1、池ヶ谷 俊介2、小柳 光正3、田中 徹4 (1.東北大学際研, 2.東北大工, 3.東北大未来研, 4.東北大院医工) キーワード:集積化技術