[12p-A3-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[12p-A3-1] Si 細線導波路結合型SSPD の作製

〇柴田 浩行^{1, 2}、開 達郎^{1, 3}、土澤 泰^{1, 3}、武居 弘樹²、清水 薫²、山本 剛³、都倉 康弘²、山田 浩治^{1, 3} (1.NTT NPC, 2.NTT物性研, 3.NTT先デ研)

キーワード：単一光子検出器、SSPD、シリコン細線導波路