[12p-A3-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[12p-A3-5] シリコン基板の深掘り加工による放射線検出器の感度向上

〇宮本 法明¹、成瀬 雅人¹、田井野 徹¹、明連 広昭¹ (1.埼玉大院理工)

キーワード：超伝導検出器、力学インダクタンス検出器