[12p-A3-1~11] 11.4 アナログ応用および関連技術

[12p-A3-8] TaN薄膜を用いたマイクロ波力学インダクタンス検出器の作製

〇山田 博信¹、小川 裕平¹、岡 大輝¹、齊藤 敦¹、大嶋 重利¹、有吉 誠一郎²、中島 健介¹ (1.山形大, 2.豊橋技科大)

キーワード：テラヘルツ波検出器