2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月12日(木) 13:15 〜 19:45 B1 (6B-101)

16:00 〜 16:15

△ [12p-B1-10] MOVPE法によるSiC基板上の無極性面高Al組成AlGaN成長

〇奥村 宏典1、谷保 芳孝1、山本 秀樹1 (1.NTT物性基礎研)

キーワード：窒化アルミニウム、有機金属化学気相成長、無極性面