[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-12] Ga₂O₃（-201）基板上AlGaN (0001)エピタキシャル膜の成長

〇森島 嘉克¹、平山 秀樹²、山下 佳弘¹、飯塚 和幸¹、倉又 朗人¹、山腰 茂伸¹ (1.株式会社タムラ製作所, 2.理化学研究所)

キーワード：AlGaN、酸化ガリウム