[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-19] デジタル混晶SMART (InN)₁/(GaN)₄の低NH₃分圧MOVPEプロセス

〇草部 一秀¹、吉川 明彦^{1, 2} (1.千葉大C-SGIR, 2.工学院大)

キーワード：窒化物半導体