[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-2] MOVPE法によるAlN成長におけるc面サファイア微傾斜角度の影響

〇鈴木 周平¹、林 家弘¹、三宅 秀人¹、平松 和政¹、福山 博之² (1.三重大院工, 2.東北大金工)

キーワード：窒化アルミニウム