[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-23] 減圧CVDで成長した六方晶窒化ホウ素薄膜の深紫外発光特性の向上

〇梅原 直己¹、増田 敦¹、清水 乙生²、光野 徹也¹、小南 裕子¹、原 和彦^{3, 4} (1.静岡大院工, 2.静岡大工, 3.静岡大創造大院, 4.静岡大電子研)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、化学気相法、薄膜