[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-3] MOVPE法によるAlN成長におけるc面サファイア表面の影響

〇林 家弘¹、鈴木 周平¹、岡田 俊祐¹、三宅 秀人¹、平松 和政¹ (1.三重大院工)

キーワード：窒化アルミニウム、化学気相成長法