[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-5] ウェットエッチングによるサファイア表面加工基板(PSS)を用いた深紫外LED用高品質AlNテンプレートの作製

〇金沢 裕也^{1, 2}、豊田 史朗^{1, 2}、大島 一晟^{1, 2}、鎌田 憲彦²、鹿嶋 行雄³、松浦 恵里子³、嶋谷 聡⁴、小久保 光典⁵、田代 貴晴⁵、大川 貴史⁵、上村 隆一郎⁶、長田 大和⁶、平山 秀樹¹ (1.理化学研究所, 2.埼玉大, 3.丸文, 4.東京応化工業, 5.東芝機械, 6.アルバック)

キーワード：窒化物半導体、サファイア表面加工基板、ウエットエッチング