2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-B1-1~23] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月12日(木) 13:15 〜 19:45 B1 (6B-101)

15:00 〜 15:15

[12p-B1-7] 環境にやさしい原料(Alパウダーと窒素ガス)からの厚膜AlNの気相成長

〇呉 ペイツエン1、船戸 充1、川上 養一1 (1.京大院工)

キーワード：AlN、バルク成長