[12p-B5-1~8] 次世代強誘電体材料の開発指針

[12p-B5-5] [講演奨励賞受賞記念講演] HfO₂基エピタキシャル薄膜の強誘電性

〇清水 荘雄¹、片山 きりは²、舟窪 浩^{1, 2} (1.東工大元素, 2.東工大総理工)

キーワード：強誘電体、薄膜、酸化ハフニウム