[12p-B5-1~8] 次世代強誘電体材料の開発指針

[12p-B5-6] エネルギー変換応用を指向した非鉛強誘電体薄膜の開発

〇吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：強誘電体薄膜、圧電、MEMS