[12p-C2-1~19] 16.3 シリコン系太陽電池

[12p-C2-12] Conductive-AFMによる多結晶SiGe薄膜の欠陥分布の評価

〇澤 祐基¹、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工)

キーワード：AFM、SiGe薄膜、粒界