[12p-C2-1~19] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [12p-C2-8] プラズマCVDプロセスにおけるa-Si_1-xC_x:HのChemical-Orderの発現に関する量子分子動力学計算

〇(D)桑原 卓哉¹、伊藤 寿¹、樋口 祐次¹、尾澤 伸樹¹、久保 百司¹ (1.東北大院工)

キーワード：アモルファス炭化珪素、密度汎関数強結合法、分子動力学法