[12p-D13-1~14] 6.5 表面物理・真空

△ [12p-D13-10] 超高真空中におけるSiC上へのSi₄O₅N₃層の形成

〇松尾 ともみ¹、白濵 順哉¹、竹嶋 祐城¹、竹尾 隆善¹、中川 剛志¹、水野 清義¹、徐 超男¹ (1.九大総理工)

キーワード：SiC、低速電子回折