PDF ダウンロード スケジュール 19 いいね! 0 15:45 〜 16:00 △ [12p-D14-6] 間欠スパッタによるFe微粒子高密度形成 〇(DC)小路 紘史1、本郷 知紀1、楠本 雄司1、古田 寛1, 2、八田 章光1, 2 (1.高知工科大院, 2.高知工科大総研ナノテクC) キーワード:間欠スパッタ、カーボンナノチューブ、ナノ微粒子