PDF ダウンロード スケジュール 12 いいね! 0 15:00 〜 15:15 △ [12p-D15-3] Sub-1Gから20Gまで検知可能な集積化MEMS加速度センサの検討 〇山根 大輔1, 4、小西 敏文2、松島 隆明2、年吉 洋3, 4、町田 克之1, 2, 4、益 一哉1, 4 (1.東工大, 2.NTT-AT, 3.東大, 4.JST-CREST) キーワード:加速度センサ、MEMS