[12p-D6-1~13] 17.4 デバイス応用

△ [12p-D6-2] SiC上カーボンナノチューブフォレストのパターニング形成のための耐超高温ZnO/Cマスク

〇稲葉 優文¹、李 智宇¹、鈴木 和真¹、渋谷 恵¹、明道 三穂¹、平野 優¹、乗松 航²、楠 美智子²、川原田 洋¹ (1.早大先進理工, 2.名大エコトピア研)

キーワード：カーボンナノチューブ、ZnO、シリコンカーバイド