[12p-D7-1~22] 17.1 成長技術

[12p-D7-18] 酸化グラフェンのプラズマ還元による絶縁基板上へのグラフェン直接成長

〇佐藤 稔¹、赤田 圭史¹、寺澤 知潮²、小幡 誠司¹、斉木 幸一朗^{1, 2} (1.東大新領域, 2.東大院理)

キーワード：酸化グラフェン、プラズマ、成長