[12p-D7-1~22] 17.1 成長技術

[12p-D7-20] マイクロ波表面波プラズマCVDによる多数層グラフェン合成と紫外光カットによる高品質化

〇市村 進^{1, 2}、内田 秀雄¹、脇田 紘一¹、林 靖彦²、梅野 正義¹ (1.中部大, 2.岡山大院)

キーワード：グラフェン、マイクロ波表面波プラズマCVD、紫外光