[12p-D7-1~22] 17.1 成長技術

△ [12p-D7-22] 量産に向けたプラズマCVDグラフェンの成長初期過程観察

〇加藤 隆一¹、南 聡史¹、沖川 侑揮^{1, 2}、石原 正統^{1, 2}、山田 貴壽^{1, 2}、長谷川 雅考^{1, 2} (1.TASC, 2.産総研ナノチューブ応用RC)

キーワード：グラフェン、CVD、成長観察