[12p-D8-1~19] 6.4 薄膜新材料

△ [12p-D8-13] 一軸圧縮下の熱処理による機能性酸化物薄膜の固相結晶化挙動

〇野沢 靖久¹、譚 ゴオン¹、船迫 友之¹、金子 智²、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大　総理工, 2.神奈川県産技セ)

キーワード：酸化物薄膜、熱ナノインプリント、一軸圧縮