[12p-D8-1~19] 6.4 薄膜新材料

[12p-D8-16] ミスト CVD 法による光透過性銅薄膜の作製

〇上野 仁希¹、池之上 卓己¹、三宅 正男¹、平藤 哲司¹ (1.京大院エネ科)

キーワード：銅薄膜、ミスト CVD 法、透過性